罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵的特点

1.不需要润滑油:罗茨真空泵的转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙,互不接触,不需要用油润滑。

2.两个“8”字转子具有良好的几何对称性,可以提高转速,从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。 

3.机组在工作时振动小,容积大,容积利用系数λnp=0.5左右。 

4.在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象,因此它不需要排气阀。也正因如此,可抽除可凝性蒸汽。 

5.机组启动速度快,能够在短时间内达到极限真空。功率小,运转维护费用低。

6.在很宽的压力范围内(1x103Pa~1Pa)有很大的抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵在(1x103Pa~1Pa)时抽速都很小的缺陷。因此,它最适合做增压泵用。罗茨真空泵的缺点是泵的转子制造较难,抽除氢气的效果不如油增压泵高。