罗茨真空泵的工作原理介绍

带溢流罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)是通一对相互作同步反向旋转的＂8″字形转子实现抽气功能的。当转子和泵体形成吸气腔时，两个转子相互之间始终保持密封，从而确保排气口的气体不返流到进气口，以此实现抽气的功能。转子的反向同步旋转是通一对安装在转子轴上的齿轮实现的。由于在泵腔里没有摩擦，罗茨泵能以每秒1500~3000转的高速运转而无须在泵腔内进行润滑。

另外，要保持罗茨泵在高转速下平稳运行，要对转子进行良好的动平衡，高速旋转的转子间、转子和泵体间没有任何直接的接触，各运动部件之间均保持一定的间隙。带溢流阀罗茨泵在进排气口间设置了一内置溢流阀，其作是：当进排气口的压差达到一定值时，流阀就自动打开，排气口的部分气体通过打开的溢流阀返流到进气口，这就大大降低了高压差下罗茨泵和前级真空泵(以下简称前级泵)的运行负荷。同时因为打开的溢流阀有强大的泄流作用，可以确保带溢流阀罗茨泵和前级泵可以同时起动而不会使罗茨泵和前级泵过载，并可以提高入口压力下罗茨泵机组的抽速。