罗茨真空泵的基础压力说明

对于很多企业来说，罗茨真空泵已经成为工作过程中重要的设备了。罗茨真空泵的性能一直以来都没有严格区分，即使在国外也大都如此，哪一些是泵本身的特征性能，哪一些是除了本身的因素外还在很大程度上取决于前级泵的性能，也即是罗茨泵机组的性能。罗茨真空泵厂家介绍一下罗茨真空泵的基础压力。

罗茨真空泵

一直以来所有真空泵都有一个非常重要的性能指标———极限压力，但极限压力对真空泵而言其实并不十分确切，正如ISO21360-1 所指出的那样：极限压力是测试罩内渐近的压力值，它是泵可获得的最低压力，但没有一个实际的测量方法或规范。也就是说，它是一个无限的渐近的值，它永远也达不到所谓的极限和最低，是一个无法测量的值。ISO21360-1 提出了一个新概念—基础压力，但它并没有给基础压力提出一个确切的定义，我们认为可以这样定义：基础压力———泵按规定条件工作，在不引入气体的情况下，标准测试罩内趋向稳定的压力，单位为Pa。与极限压力的定义相比较，基础压力的定义中取消了“最低”，也就没有了极限的含义。这是一个可以测量的值，我们认为所有真空泵都应该将性能指标中的“极限压力”修改为“基础压力”，尤其是单独使用的、直接排大气的真空泵，如滑阀泵、旋片泵、液环泵、活塞泵、涡旋泵、爪式泵、湿式罗茨泵和气冷式罗茨泵等等。基础压力对罗茨泵而言，并不是罗茨泵本身的特征性能指标，它在很大的程度上取决于前级泵的类型(基础压力)和温度，因此在标注泵的基础压力时，必须同时注明所配置的前级泵类型。过去曾一度认为，我们罗茨泵的基础压力始终不如国外的好，后来查明是因为当时作为前级泵的旋片泵质量不是最好，更换上质量好的前级泵，罗茨泵的基础压力就完全达到了国外泵的先进水平，这就充分说明基础压力并不是罗茨泵本身的特征性能。考虑到基础压力比较直观，生产厂商和用户的习惯，改变和认识还需要一个过程，这次罗茨泵新标准中仍将基础压力列入主要性能指标。

基础压力的测量中，全压的测量示值过去规定为经校准的热偶真空计的示值，实际上国际标准中早已规定测量仪表为薄膜计，目前我国薄膜真空计的使用已经普及，而且它的精度远高于热偶真空计，因此新标准中全压的测量示值已规定为经校准的薄膜真空计的示值。

薄膜真空计使用中必须注意一个问题，因为薄膜计从结构上可分为二种型式：相对式和基准式。基准式中有一个高真空基准膜盒，薄膜计的示值实际上是传感器的测量值与基准膜盒相比较的结果，基准膜盒由于放气和漏气，它的真空度虽然非常缓慢，但都在不断地下降，因此薄膜计的零位应该经常进行校准，尤其是对低量程的1 Torr(100 Pa)和0.1 Torr(10 Pa)的传感器而言，故基准膜盒应根据具体情况，限期进行高真空处理或更换。相对式是以一台高真空泵(如分子泵)替代基准膜盒，因此薄膜计的零位不需进行校准，有条件的单位应采用这种型式的薄膜真空计。当然薄膜真空计整计(包括传感器、显示仪和电缆等)必须定期送规定的计量部门检定。