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罗茨真空泵不能独自运用,有必要配上前级泵组成机组,运用前级真空泵是为了下降罗茨真空泵的排出压力,因为罗茨真空泵的压缩比是有限的,所以挑选前级真空泵的抽速是重要的。接下来罗茨真空泵厂家小编来为你简单介绍:
挑选前级泵的抽速,要根据罗茨真空泵的长期作业压力规模考虑。例如有一体系用罗茨真空泵机组抽气,要求在1 mbar进口压力时有600升/秒的抽速,并长期作业,问应挑选多大抽速的前级泵。先假定用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20得出K=20时最大排出压力为30 mbar。
由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在进口压力低于1.5 mbar以下作业是可行的,但高于1.5 mbar进口压力作业时就选用大一些前级泵了。该例中,作业真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前级泵能够满意上述真空体系的抽气要求。
另外应当考虑的是,对预抽时间的要求问题,假如正常作业时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵;假如真空室较大,并且要求很快预抽,就要用较大的前级泵,有时为了更好发挥设备的功率,机组装有较大的预抽泵,在正常作业后停掉它,而用较小的前级泵保持,这样做是为了节省功率。
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